“这个是恒温车间。”

这里倒是能进去。

赫尔斯有些好奇，“为什么要弄恒温车间？”

还没等阮文回答，肖特先生开口，“光刻机是精密仪器，恒温条件下生产组装能够保证更高的精密度，我说的没错吧？”

“难怪这机器造价这么高。”

赫尔斯就是那个托，他并不懂得光刻机的结构与制造原理，甚至对这台机器如何工作也没什么概念。

不过来之前，倒是打听了下这类机器的价格。

只能说，天价的东西就是玄乎，大概贵就贵在他们这些外行人的不解吧。

恒温车间里有几个研究员正在打磨零件，除此之外还有一条晶圆生产线。

“这是……”

“6英寸的晶圆。”涂安国会英语，主动介绍起来，“这条生产线已经很成熟了，良品率差不多是四成左右……”

现阶段，4英寸的晶圆能够满足大规模集成电路的需要，也是目前市场上普遍需求的。

然而在半导体行业，发展可以用日新月异来形容，早就有专家预测未来几年内，市场上的需求将由大规模集成电路向超大规模集成电路发展，届时光刻机所处理的将会是6英寸的晶圆。

晶圆尺寸的变化，对光刻机的要求也更高，因为彼时微电子集成将会更加紧密。

而413所的这台光刻机，刚巧是能够满足这一需求的机器。

要知道，晶圆的直径越大，意味着在一个硅晶片上经过同样的工艺循环，所得到的集成电路芯片数就越多。

而芯片数的增加，这意味着成本的降低，这是芯片制造商们最喜闻乐见的事情。